日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列

產(chǎn)品名稱: 日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品特點(diǎn): 日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列
本產(chǎn)品是一種換能器型多離子量規(guī)，可以連接不同量程的測針。
在將常規(guī)方法的多種原理結(jié)合到一個(gè)外殼中的復(fù)雜真空計(jì)中，“由于一個(gè)探針的故障，必須*更換一個(gè)探針"“探針復(fù)雜且容易發(fā)生故障"我們經(jīng)常聽到客戶說“很貴"。
使用這種方法，可以進(jìn)行寬帶測量，大大降低了運(yùn)行成本，并支持低環(huán)境負(fù)荷。

日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列 的詳細(xì)介紹

日本shibaura多離子規(guī)真空計(jì) GMi系列

GMi系列的特點(diǎn)

廣域測量可以測量
從大氣壓到高真空區(qū)域（10 ⁵至5×10 ^-8 Pa）（當(dāng)同時(shí)使用GPM和GAM時(shí)）。
可以連接不同量程的探頭，使用
多離子規(guī)可以根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。
準(zhǔn)確的大氣壓測量
輕松，準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓（使用GAM時(shí)）
低環(huán)境負(fù)荷
可以降低運(yùn)行成本，因?yàn)橹挥性谛枰獣r(shí)才可以更換觸點(diǎn)。
配備能檢查異常情況的LED，提高了可見度
易于維護(hù)可更換探頭
每種模式（組合模式）的
規(guī)格GMi + GPM（離子計(jì)+皮拉尼表）
GMi + GPM + GAM（離子計(jì)+皮拉尼表+大氣壓傳感器）
測量值輸出信號
壓力為0-10V輸出（對數(shù)輸出）
控制輸出信號
設(shè)定值3點(diǎn)可輸出（GMi-1）
可以進(jìn)行串行通訊規(guī)格
RS232C / RS485通訊（GMi-2）
符合
CE標(biāo)準(zhǔn)

用

用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過程控制
在具有多個(gè)處理腔室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域（例如在線型和單晶圓型）中確定極限壓力
高真空/超高真空設(shè)備的壓力測量

規(guī)范

模型		GMi-1	GMi-2
規(guī)范		標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格	串行通訊規(guī)格
自適應(yīng)多離子量規(guī)傳感器		M34（NW16），M35（NW25）
可連接的		傳感器多離子壓力計(jì)傳感器：1個(gè) 皮拉尼壓力計(jì)GPM：1個(gè)（可選）大氣壓傳感器GAM：1個(gè)（可選）
采樣時(shí)間		70毫秒4倍移動(dòng)平均處理
測量值輸出		輸出電壓DC 0至10 V，對數(shù)輸出0.75 V / 1位壓力轉(zhuǎn)換公式V = 7.25 + 0.75×（Log P-2）P = 10 ^ {（V-7.25）/ 0.75 + 2} *用于設(shè)定點(diǎn)調(diào)整也用作輸出電源（僅適用于GMi-1）
更新時(shí)間		50毫秒
控制輸入??信號		FIL ON / OFF，F(xiàn)IL 1/2，DEGAS ON / OFF以集電極開路輸入，負(fù)邏輯運(yùn)行 * FIL ON / OFF信號的使用取決于模式。	--
控制輸出信號		傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn)1/2/3 發(fā)射有效燈絲功率監(jiān)控額定值：24 VMAX，50 mAMAX，飽和電壓1 V	--
串行通訊規(guī)格		--	RS232C / RS485
LED顯示屏		電源/錯(cuò)誤：電源和錯(cuò)誤指示燈（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化） FIL：發(fā)射有效的指示燈
LED顯示屏		SET1：設(shè)定點(diǎn)1 LED SET2：設(shè)定點(diǎn)2 LED SET3：設(shè)定點(diǎn)3 LED	--
發(fā)射電流		1 mA（1×10 ^-3 Pa或更?。?，10 µA
德加斯		電子沖擊解吸方法（電子轟擊）1 mA，330 V
傳感器耐壓		2 x 10 ⁵ Pa（壓力）*法蘭和夾具的耐壓力必須分開考慮
傳感器內(nèi)部容積		34厘米³（M34）
工作溫度極限		10?50℃
工作濕度范圍		15-80％（但是，無凝結(jié)）
貯存溫度		-20至65°C（斷電時(shí)不結(jié)露）
IP防護(hù)等級		IP30
電源電壓		20至28 V DC（紋波，噪聲1％或更低）19 W或更低（電源打開時(shí)為156 W）
I / O連接器		D-sub15針（M2.6螺絲）
大眾		控制器：約530 g，BA探針（M34）：63 g
外形尺寸W xD x H（mm）		144 x 75 x 62以下（控制器部分）
符合標(biāo)準(zhǔn)		CE認(rèn)證
選項(xiàng)	電源/錯(cuò)誤：多離子計(jì)傳感器	M34（NW16），M35（NW25）材質(zhì)：長絲1 lr / Y ₂ O ₃涂層，長絲2 W（鎢）其他Pt C Mo，SUS，W
	皮拉尼規(guī)	SPU
	皮拉尼儀表傳感器	WP-16（NW16）材料：細(xì)絲鉑，其他BS / Ni，電鍍，鎳，焊料
	大氣壓傳感器	GAM（NW16）材質(zhì)：SUS316L
	單元電纜	GPM為0.5毫米 GAM為0.5毫米
	顯示單位	1 CH：ISG1型（使用DC 24 V電源） 4 CH：IM1R1型（使用DC 24 V電源） IM2R1型（使用AC 100 V電源）
	顯示電纜	GMi和顯示單元之間的電纜 2 m，5 m，10 m，15 m

每種模式的規(guī)格

GMi-1 / GMi-2可以從三種用途中選擇：多離子壓力計(jì)單模，帶皮拉尼壓力計(jì)的組合模式以及帶皮拉尼壓力計(jì)和大氣壓傳感器的三重組合模式。

模式	GMi-1 / GMi-2 獨(dú)立模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM コンビネーションモード	GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM コンビネーションモード
測定圧力範(fàn)囲	5 × 10^-8 ～ 1 × 10¹ Pa	5 × 10^-8 ～ 1 × 10⁴ Pa	5 × 10^-8 ～ 1 × 10⁵ Pa
測定精度	5 × 10^-8 ～ 1 × 10¹ Pa± 15 %	5 × 10^-8 ～ 1 × 10³ Pa：± 15 % 1 × 10³ ～ 3.0 × 10³ Pa：± 30 % 3.0 × 10³ ～ 1.0 × 10⁴Pa：精度保証なし	5×10 ^-8至1×10 ³ Pa：±15％ 1×10 ³至3.0×10 ³ Pa：±30％ 3.0×10 ³ 至1.0×10 ⁴ Pa：無精度保證 1.0×10 ⁴至1.0× 10 ⁵ Pa：±3％FS （3×10 ³ Pa，參考溫度25°C）
重復(fù)性	1 x 10 ^-6至1 x 10 ^-1 Pa：Pa±2％
接線圖（示例）