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      技術(shù)文章

      適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機(jī)

      適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機(jī)SC-708系列


      特征

      • 大型基板全鍍膜的離子濺射設(shè)備

      • 濺射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸,例如 4'/5'/6'/7'/8'。

      • 在形成微通道流路以及濺射薄膜制造時(shí)支持 PDMS 表面處理

      • 配備鍍膜模式/蝕刻模式



      應(yīng)用/結(jié)果示例

      • 適用于各種設(shè)備的電極膜附件

      • 反光膜制作應(yīng)用

      • 樣品表面親水化處理應(yīng)用(蝕刻方式)

      • PDMS表面處理應(yīng)用(蝕刻模式)等



      基本規(guī)格

      陰極φ4-8英寸/2極對(duì)向電極
      濺射電流
      蝕刻電流
      0-50mA(包括電流表)
      濺射電壓
      蝕刻電壓
      0.8 / 1.4kV
      氣體引入機(jī)制針閥
      真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:100l/min(帶自動(dòng)漏氣)
      腔室尺寸內(nèi)徑φ240mm x D240mm(SUS制)
      樣品交換方式前門開閉式
      樣本量最大φ4 ~ 8 英寸
      尺寸(寬/深/高)主體:282/450 / 440mm
      RP:460/175 / 265mm
      重量身體:約20kg
      RP:23kg





      特殊規(guī)格示例

      SC-704AT
      SC-704AT
      膜厚可控全自動(dòng)機(jī)型

      SC-704MC
      SC-704MC
      磁控陰極采用型號(hào)
      (無蝕刻/交流濺射功能)



      聯(lián)系人:林經(jīng)理
      地址:深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
      Email:akiyama_linkkk@163.com
      郵編:
      QQ:909879999

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